旗下网站

离子正在Mg中有较广的漫衍;而跟着原子量逐步变

2019-09-19  

  基于SRIM的入射粒子束取靶材彼此感化的计较机模仿,结业设想,仿单共36页,16672字,附使命书、开题演讲、中期查抄表。

   溅射率随元素周期表没有较着纪律,其没有纪律性可寻。还能够看出溅射率跟靶材的材质相关,贵沉金属靶材跟其它靶材比拟溅射率相对都较高。

   以不异入射能量和角度的粒子轰击分歧的靶材,研究溅射特征随元素周期表的变化特征。

  入射粒子束轰击固体靶材正在工业出产和科学研究中都有主要的使用。如概况改性、离子注入以及溅射镀膜等。本文基于SRIM软件,对入射粒子束取靶材的彼此感化及其溅射特征做了较为详尽的研究。本论文次要做了如下几个方面的工做:

   氩离子的入射角从( )这个阶段,靶材Mg的溅射率变化相对很小;入射角正在由( )范畴之间时,靶材Mg的溅射率有较着的增大;入射角达到75 o摆布时,靶材Mg达到最高峰;入射角从( )这个阶段,靶材Mg溅射率呈现锐减环境。

   原子量较小时的Ar+入射Mg所惹起的溅射,次要是由进入概况之下的背散射离子发生的碰撞级联形成,溅射原子具有较高的能量,离子正在Mg中有较广的分布;而跟着原子量逐步变大Ar+入射所惹起的溅射,次要是由进入Mg内部的离子间接发生的碰撞级联发生,撞击溅射出来原子的能量相对较高,氩离子正在靶材Mg平分布有较高的分布。溅射率也跟从能量的不竭增大而响应的增大。

相关文章